光学轮廓仪对光学元件表面空间波长回应的研究 上传者：随心robin 2021-02-25 17:46:59上传 PDF文件 1.11MB 热度 40次 在分析光学轮廓仪的空间分辨率和带限功率谱密度函数的基础上,用所测不同样品的大量数据研究了光学元件表面粗糙度测量与光学轮廓仪对表面空间波长的带限回应关系。对由光学轮廓仪不同带宽限制内测量元件表面粗糙度有不同回应所引起不同偏差的解决办法提出了几点建议。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
