轴向调节机构中调节力对光学元件面形的影响

深紫外光刻投影物镜光学系统对光学元件的面形精度要求极高,物镜中轴向调节机构调节力对光学元件面形的影响不可忽略。针对一种一体化结构的光学元件轴向调节机构,研究了调节力对光学元件面形的影响规律。采用有限元计算的方法分析了调节力与光学元件面形均方根(RMS)值、Code V标准Zernike系数之间的关系,并进一步提出了通过隔离调节力和吸收调节力以减小调节力对元件面形影响的方法。计算结果表明:光学元件面形的RMS值和Zernike系数随调节力线性变化,调节力不会导致已有像差转变为其他类型的像差,也不会导致新像差的产生;在光学元件与轴向调节机构的支撑镜框之间采用具有吸收调节力功能的柔性结构后,调节前后