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相位调制数字散斑干涉术

上传者: 2021-02-22 16:14:45上传 PDF文件 771.69KB 热度 16次
提出一种可绕Z轴转动的粗糙平板(参考物体)实现相位调制,该方法在不改变电子散斑干涉术(ESPI)或数字散斑干涉术(DSPI)系统装置的情况下,可用于微小离面位移场(例如最大离面位移为K)的测量,以及复杂形变的离面位移场的自动测量。
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