抑制散斑干涉测量中退相关的相位调制方法

退相关现象制约散斑干涉测量的实现。为了增加散斑场的相关性,抑制退相关,提出一种使用三次相位板进行相位调制的方法。通过分析散斑场相关性与散斑尺寸的关系,阐述了相位调制通过扩展散斑尺寸而抑制退相关的机理,仿真验证了方法的有效性。在此基础上设计了相位调制散斑干涉测量系统,其物光光路采用4f 系统结构,可在相位面处放置三次相位板方便地进行相位调制。对比实验结果表明:经相位调制的散斑场横向相关尺寸提升约1.7 倍,纵向相关尺寸提升约2.5 倍,有效抑制了散斑干涉测量中退相关的发生,能够获得良好干涉条纹的纵向相干区域扩展约2.5 倍,提升了散斑干涉条纹局部对比度。