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光源编码的白光散斑剪切干涉计量术

上传者: 2021-03-01 17:48:17上传 PDF文件 2.29MB 热度 11次
本文提出了一种用非相干光源照明进行剪切干涉计量的方法—光源编码的白光散斑剪切干涉计量术.它采用光栅对光源进行编码以提高空间相干性,使物体的两个剪切像的波面部分相干叠加,以实现剪切干涉.
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