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大口径标准球面镜组研制与应用

上传者: 2021-02-21 06:33:36上传 PDF文件 4.37MB 热度 9次
为了实现大口径凸面反射镜检测,研究了大口径标准镜组的设计与研制技术。针对口径Φ为350 mm、焦距为4400 mm的标准球面镜组,完成了标准镜头设计分析、面形和曲率半径误差标定以及系统集成与实验验证。光学设计软件模拟分析结果表明镜头设计波像差达到0.0001λ[峰谷值(PV),λ=632.8 nm],该标准镜头参考球面标准镜面形加工精度达到0.088λ(PV,λ=632.8 nm)、0.006λ[均方根(RMS),λ=632.8 nm],某项目Φ为320 mm、R为4092 mm的碳化硅凸面反射镜最终加工检测结果达到0.102λ(PV,λ=632.8 nm)、0.011λ(RMS,λ=632.
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