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大口径批量化离轴非球面镜的检测光路设计

上传者: 2021-02-07 01:21:43上传 PDF文件 2.18MB 热度 18次
为了检测极大口径望远镜非球面离轴子镜的面形精度,设计一种通用的干涉检测光路。综合利用透射式和衍射式补偿器的优点,设计消球差单透镜和计算全息片共同对非球面度进行补偿。对于大口径、批量化的离轴非球面镜,搭建一个检验光路,检测不同离轴量的子镜时只需更换计算全息片,最大程度上节约成本。设计结果表明对于顶点曲率半径60 m、二次常数K=-1.000954、母镜口径Φ30 m、子镜口径Φ1.5 m、离轴量分别为2.5、8、14.5 m 的子镜,均可以在一种光路结构中实现高精度零位检测。
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