新型三腔谐振腔增强型光探测器的理论分析和数值模拟

提出了一种新的谐振腔增强型(RCE)光探测器结构,它将器件结构中的谐振腔分为三个子腔。分析表明,采用这种新结构的光探测器在保留了RCE光探测器优点的同时,还实现了器件量子效率及其光谱响应线宽之间制约关系的解耦,因而可以同时获得窄的光谱响应线宽(90%)和高的响应速度。该器件可望在密集波分复用(DWDM)光通信系统中得到广泛应用。