单片集成长波长四镜三腔谐振腔增强型半导体光探测器

报道了一种单片集成的1550 nm的四镜三腔谐振腔增强型(RCF)半导体光探测器。通过多腔的设计解决了传统RCE光探测器量子效率、高速响应和光谱响应线宽之间的相互制约问题;利用InP/GaAs低温缓冲层技术解决了大失配异质外延生长的问题,器件可以同时获得高速、高量子效率和窄的光谱响应线宽。制备的器件响应波长为1550 nm,峰值量子效率接近70%,其光谱线宽为0.5 nm,3 dB响应带宽大于8 GHz。