光程差倍增的纳米级精度激光干涉仪 上传者:duipi 2021-02-19 18:48:02上传 PDF文件 857.73KB 热度 10次 介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪。提出了耦合差动干涉的新方法。通过对光程差进行倍增,提高了干涉仪的分辨率和稳定性。该干涉仪结构简洁紧凑,光路布局对称性好,不存在死光程,容易装调,符合阿贝原则和结构变形最小原则,在10 mm(可以扩展至50 mm)测量范围内,获得了λ/1600的分辨率和纳米级的测量精度。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 duipi 资源:480 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com