光程差倍增的纳米级精度激光干涉仪

介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪。提出了耦合差动干涉的新方法。通过对光程差进行倍增,提高了干涉仪的分辨率和稳定性。该干涉仪结构简洁紧凑,光路布局对称性好,不存在死光程,容易装调,符合阿贝原则和结构变形最小原则,在10 mm(可以扩展至50 mm)测量范围内,获得了λ/1600的分辨率和纳米级的测量精度。