用稳光程干涉仪拍频检测小位移 上传者：jjyingyao 2021-02-17 14:24:58上传 PDF文件 1.36MB 热度 29次 本文报告了一个检测低频小位移的方案,以塞曼双频激光器为光源,用迈克尔逊干涉仪进行检测.为克服低频噪声影响,采用伺服环路锁定干涉仪光程差,且用拍频技术检测信号,对于3.3kHz的信号,检测最小位移达0.005nm. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
