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四象限探测器位移测量的标定方法

上传者: 2021-02-18 01:53:28上传 PDF文件 2.01MB 热度 19次
提供了一种能实时快捷地对光镊系统中四象限探测器位移探测信号进行校准的方法。实验研究表明了该方法的可靠、精确,其自身的不稳定性小于1%。利用该方法研究了校准系数随小球深度的变化情况,得出校准系数随小球深度的升高而减小。该方法可以用于光镊系统稳定性的监测。
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