死区对四象限探测器探测范围和灵敏度影响的研究

介绍了四象限探测器的工作原理及影响四象限探测系统精度的各种内外部因素，详细分析了四象限探测器 死区对探测范围内探测灵敏度的影响。在探测范围内，对各个象限内高斯光斑接收的光功率进行计算，并用 Ｍａｔｌａｂ软件对归一化的目标光斑偏移量ｘ随光斑中心坐标Ｘ的变化关系进行仿真，设计四象限探测系统的光路 和电路，当死区宽度Ｄ＝０．１ｍｍ时，调整光斑半径Ｒ大小分别为０．６ｍｍ和０．４ｍｍ下进行测量。理论及实验结 果表明，死区宽度相对光斑半径的比例越大，光斑偏移量随光斑中心的变化趋势越陡峭