离轴抛物面镜加工技术

介绍离轴抛物面镜通常的几种加工流程和适用范围。详细介绍了基于超精密磨削技术和小工具数控抛光技术加工离轴抛物面镜的加工过程。着重介绍超精密磨削加工离轴抛物面镜的设备、加工原理,分析了其中误差的产生来源和工艺参数的选择。简要介绍了小工具数控抛光(CCOS)加工离轴抛物面镜和离轴抛物面镜的干涉检测。通过分析一块160 mm的离轴抛物面镜的参数和加工量确定了使用该加工过程。介绍了加工使用的主要参数;通过加工达到面形精度PV值0.2 μm。实验结果表明,采用超精密磨削技术和小工具数控抛光技术加工离轴抛物面镜是一种行之有效的加工方法。