基于混合补偿检测 离轴抛物面的方法

为了解决大口径大偏离量非球面高精度检测问题, 提出子孔径拼接与补偿器混合补偿检测模型。在被检测非球面镜面形精度未达到干涉仪测量动态范围要求, 同时轮廓测量精度不能满足后续加工要求时, 该模型可以实现对被检测镜的高分辨率检测, 为后续加工提供指导。为了验证模型的可行性, 结合工程实例, 对口径为1450 mm的离轴抛物面镜进行了混合补偿检测, 为了评价混合补偿检测精度, 将混合补偿检测结果与子孔径检测结果进行了对比分析, 其残差的峰谷值与均方根值分别为0.030λ与0.003λ, 验证了该模型的精度与可行性。