计算全息法标定抛物面精度分析

非球面高精度检测是目前光学检测研究的热点和难点之一。计算全息(CGH)技术是非球面检测的重要方法,但检测精度受到许多因素的影响。对CGH检测抛物面的误差进行了深入研究。应用Zemax软件对各种检测误差进行模拟计算,利用CGH对抛物面面形进行实际测量,对测量结果中较大的透射波前误差、彗差、球差等进行分析,并将CGH法与共焦小球法的检测进行了结果对比。结果表明,CGH法的设计和制造精度很高,标定基底的透射波前后,理论检测误差均方根(RMS)值低于4.2 nm。实际检测中,CGH的离焦和抛物面偏心会造成较大的测量误差,精密调整后的测量误差RMS值优于4.5 nm。