各种创新消费类产品的MEMS传感器应用设计

MEMS即微机电系统,是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中,微米级立体结构是利用被称为“微加工”的特殊工艺实现的微米大小的立体机械结构。因为技术和经济的原因,MEMS传感器曾经被局限在汽车市场和工业应用领域;今天,随着MEMS传感器越来越小,价格越来越低,能效越来越高,设计和应用空间不断扩大,它在消费类应用市场的普及率正在不断提高。制造这些器件所采用的微加工技术与制造基本集成电路所采用的工序和工艺大同小异,只不过微加工的产品通常是一个能够活动的立体的机械结构(如图1)。虽然制造MEMS产品可以使用多种不同的材料,但是硅越来越受到业界的欢迎,因为硅的电气、机械和热属性都非常