汽车MEMS传感器的应用及发展
本文通过大量的文献资料，评述汽车MEMS（微机电系统）传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。
关键词：汽车传感器、微机电系统、力敏器件。
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本文通过大量的文献资料，评述汽车MEMS（微机电系统）传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。
关键词：汽车传感器、微机电系统、力敏器件。
