光小目位脊形光波导基模调制器

在正向注入的情况下(即P+区相对于N+区接正偏压),电子和空穴将注入到本征区,形成电流。因为这就是一个p-l-n二极管结构,其导通电压约为0.7 V,所以正偏电压至少应大于0.7 V。在一定偏压下,载流子注入浓度与P+区和N+区的掺杂浓度有关。下面我们先来回顾一下脊形光波导的光场分布,这里根据我们所定义的截面重新计算,如图1所示。 图1 脊形光波导基模 我们讨论注入到器件(图1)中的载流子浓度。假设P+区和N+区的掺杂浓度为5×1018cm-3,正向偏压为0.9V,掺杂区近似被认为均匀分布且深度为0.5um;N+区偏移脊区2pm;我们考虑沿AA和BB线分布的电子浓度(空穴浓度