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双频激光干涉式大尺寸轴径测量仪的研究

上传者: 2021-02-09 16:24:44上传 PDF文件 1.19MB 热度 7次
采用激光准直仪出射的高稳定光线瞄准和定位吸附在被测工件直径两端点上的两个磁性定位块上的光电接收器,同时使用双频激光干涉仪直接测量出这两个光电接收器中心间的距离,通过几何计算得到被测直径大小.试验表明,该方法测量精度较高,测量系统的相对误差小于5×10-8.
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