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复合光源实时微振动干涉测量仪

上传者: 2021-04-07 06:26:28上传 PDF文件 171.18KB 热度 10次
提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪.通过采用复合光源和反馈系统,有效地消除了激光二极管-正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响,实现了物体微振动的纳米精度实时测量.
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