复合光源实时微振动干涉测量仪 上传者：A张远15886 2021-04-07 06:26:28上传 PDF文件 171.18KB 热度 34次 提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪.通过采用复合光源和反馈系统,有效地消除了激光二极管-正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响,实现了物体微振动的纳米精度实时测量. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
