超精密干涉测量仪器与系统

干涉测量技术以光的波长为度量单位,具有高精度、高灵敏度、和非接触的特点。特别是20世纪70年代以来,干涉测量技术与现代激光技术、电子技术和计算机技术相结合,极大地提高了测量精度和重复性。干涉测量已成为实现光学元件面形及微形貌,光学系统波像差,光学材料折射率、应力双折射等参数高精密检测的主要手段。超精密干涉测量仪器与系统已成为Zygo、Zeiss、Nikon、4D Technology、QED等企业的核心业务之一。