基于离轴计算全息的非球面检测研究

基于计算全息(CGH)的零位干涉检验是非球面检测的主要方法之一。采用共轴计算全息有很多优点,但其中心区域因形成鬼像而无法检测。为消除鬼像对测量的影响,采用离轴计算全息和改进的泰曼-格林干涉装置,将离轴CGH置于成像臂,对测试光进行二次补偿并在垂轴方向分离各衍射级次,通过倾轴和滤波选取0级参考光和-1级测试光发生干涉,对一块高次非球面进行了检测,其中非球面的波差由标准球面透镜组和离轴CGH共同进行补偿。作为对比,采用Zygo干涉仪和共轴CGH检测了同一块非球面。实验结果表明在成功消除鬼像的同时,两种方法的测量数据保持了良好的一致性,这一技术也可用于大口径非球面的高精度检测。