光学元件一体化精密轴向调整机构的设计

为了使光学元件轴向调整机构满足调整行程大、调整精度高、结构紧凑和装调容易等要求,设计了一种一体化结构的光学元件轴向调整机构。结合有限元分析技术,建立了该型机构的参数化模型,并分析了主要设计参数对调整机构的调整行程、一阶固有频率和最大应力值等主要技术指标的影响。分结果表明,调整机构可以实现光学元件的精密轴向调整;柔性转轴片厚度和宽度分别为1 mm和0.8 mm,柔性导向片的厚度和长度分别为0.6 mm和20 mm,调整机构的调整量为67.45 μm,一阶固有频率为119.1 Hz,且机构的最大应力值小于材料的屈服极限。满足光学元件轴向调整机构的设计要求。