光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 上传者：cdd49200 2021-02-01 15:22:19上传 PDF文件 7.32MB 热度 55次 针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法,并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明,将面形检测的绝对算法应用于检测镜头系统波像差,在干涉仪系统误差消除后可以达到相对理想的检测精度。实验数据的重复性的均方根可以达到0.14 nm。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
