基于载频交叠重构干涉术的大口径干涉仪相移误差校正方法

为抑制Φ600 mm相移式菲佐干涉仪中波长调谐误差以及振动带来的测量误差,提出了一种可用于波长调谐移相干涉仪的误差校正方法。将4幅载频干涉图按列交叠重构得到时空条纹图,由于载频的存在实现了误差谱与相位谱的分离,提取相位谱就可以正确解包相位。存在波长调谐误差和振动的情况下,仿真结果表明利用载频交叠重构干涉术,相位恢复精度是传统移相算法精度的10倍以上;实验结果显示,载频交叠重构干涉术的测量精度为0.0066λ。利用载频交叠重构干涉术能够有效抑制Φ600干涉仪中波长调谐误差与振动造成的测量误差。