同步移相干涉测试中的系统误差校正

相比于传统的时域移相干涉术(TPSI),同步移相干涉术(SPSI)能够抵抗振动等时变干扰因素的影响,但其普遍采用的分光和偏振移相结构给测试系统引入了新的误差。提出一种系统误差校正方法,在同步移相测试系统中将球面被测件离焦得到圆载频干涉图,使用圆载频处理技术获得每步移相干涉图的能量和相位信息,为引导对系统中的分光不一致、移相量不准确、干涉图空间位置不匹配三项重要的系统误差进行独立校正,各项误差之间不会相互干扰。该方法的可行性通过数值仿真和实验进行了验证,可用于所有采用分光结构的同步移相干涉系统。