光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究

Name: 光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究
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Author: xuzhen38550

上传者：xuzhen38550 2019-05-31 22:37:25上传 PDF文件 369.79KB 热度 62次

对传统光杠杆测量微小位移的原理进行改进，可以将微位移量放大100量级以上,测量系统的理论分辨率为4nm、实测分辨率小于10nm

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