具有迟滞补偿的单压电变形镜的闭环校正性能

对具有迟滞补偿的单压电变形镜的闭环校正性能进行了研究。提出了基于Prandtl-Ishlinskii(PI)迟滞模型的变形镜闭环控制算法, 搭建了基于哈特曼波前传感器的自适应光学测试平台, 分别进行了静态像差和动态像差的闭环校正实验。实验结果表明:在静态像差的闭环校正中, 迟滞消除算法比未消除算法具有更快的校正速度; 对于波前像差均方根的平均值为168 nm的动态像差, 校正后的残差从消除前的33 nm降低到校正后的25 nm, 证明了所提算法可有效应用于压电变形镜自适应光学系统。