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980 nm高功率DBR半导体激光器的设计及工艺

上传者: 2021-02-01 01:00:10上传 PDF文件 3.08MB 热度 21次
设计并制作了非对称大光腔波导结构,利用分布布拉格反射技术,实现了980 nm 波段高功率半导体激光器的稳定输出。在实验过程中,采用电子束光刻技术,结合感应耦合等离子刻蚀工艺,利用SiO
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