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大口径高精度方形平面光学元部件的研制

上传者: 2020-12-23 01:25:13上传 PDF文件 236.36KB 热度 10次
光学加工文献采用环行抛光技术是实现大尺寸、高面形精度和细表面粗糙度要求的方形或长方形平面元件批量化加工 的一条有效途径。
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