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相对角差法重建大口径平面光学元件面形

上传者: 2021-02-23 00:04:52上传 PDF文件 12.39MB 热度 7次
针对已有的相对角差法面形检测的原理验证装置,提出了一种具有更高稳健性的最小二乘积分面形重建算法。利用相对角差改写了经典最小二乘积分技术的代价函数,避免了积分重建中的测量误差累积的问题,空间复杂度和时间复杂度仍分别为
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