光刻机的匹配和调整

周虎明 韩隽(中国电子科技集团公司第58研究所,江苏 无锡 214035)摘要:光刻机的匹配使用是半导体工艺大生产线上提高生产效率的一项重要措施。光刻机的匹配主要包括场镜误差的匹配和隔栅误差的匹配,如何调整相同型号光刻机的匹配使用将是本文论述的重点。 关键词:套刻精度;误差;匹配;调整中图分类号:TN305 文献标识码:A1引言在超大规模集成电路圆片工艺生产线上,往往投入多台光刻机同时使用,有相同型号的多台光刻机,也有不同型号光刻机同时运行。同时随着不同工艺平台的发展(例如:从2μm生产平台逐步升级为1.2μm,1.0μm,0.8μm,0.5μm生产平台)。光刻机性能也不断地产生相应的升级;G