TG2U型光刻机

■ [产品名称]:TG2U型光刻机 ■ [工艺方案]: 半导体设备 ■ [产品简介]: 产品特点:TG2U型光刻机是制造中,大规模集成电路,传感器,表面波元件,磁泡,微波和CCD等器件的重要光刻设备。 ■ 说 明 TG2U型光刻机主要技术参数见下表: 项目 参数 适用的掩模尺寸 a.100X100X2-3mm;b.75X75X2—3mm;c.63X63X2—3(选购); 适用的硅片尺寸 φ35—75mm 光刻图形线条 3-4μm, 最细可达2μm 掩模与硅片之间的相对位移范围 X/Y±2.5mm,(族转) ±6° 承片台(硅片)绕主轴旋转