有关外延层层错

课程内容: 1 外延层层错 1.1 外延层层错的形成模式 1.2 外延层层错的结构 1.3 外延层层错的腐蚀形貌 1.3.1 外延层层错是面缺陷 1.3.2 腐蚀时在缺陷处体现优先腐蚀 1.4 几点说明 1.4.1 层错的腐蚀形貌并非一定是完整图形 1.4.2 层错的腐蚀形貌图形可能大小不一 1.4.3 不同器件制造对层错密度的要求 2 外延层层错产生的原因及对器件性能的影响 2.1 外延层层错产生原因 2.1.1 衬底的表面质量 2.1.2 外延用的气体纯度 2.1.3 外延工艺条件控制 2.1.4 外延系统的清洁度 2.2