SPC在半导体晶圆制造厂的应用(下)

梁德丰,梁静,钱省三(上海理工大学工业工程研究所/微电子发展中心,上海 200093)摘要:由于半导体制造工艺过程的复杂性,一般很难建立其制造模型,不能对工艺过程状态作有效的监控,所以迫切需要先进的半导体过程控制技术来严格监控工艺过程状态,而SPC就是其中最重要的一种技术。本文着重论述了半导体晶圆厂的SPC与传统行业的不同之处。 关键字:半导体;SPC;过程控制;控制图 中图分类号:TN301 文献标识码: A 文章编号:1003-353X(2004)05-0035-034 SPC控制的方法简介 SPC是通过对线上参数进行分析,来对生产过程进行监控和预测。主要包括数据采集,数据整理和数据分析三