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基于自治与协调的半导体晶圆制造系统实时派工方法

上传者: 2020-07-25 05:48:42上传 PDF文件 355.94KB 热度 12次
基于自治与协调的半导体晶圆制造系统实时派工方法,江志斌,张怀,提出一种基于自治与协调的实时派工机制,并在此基础上研究面向瓶颈设备的实时派工算法,该算法针对瓶颈设备动态漂移的特性,根据
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