基于电流变效应的超精密工件台研究与展望

陈亚英 , 朱 煜(清华大学精仪系制造所,北京 100084) 摘 要:通过分析超精密工件台系统的研究现状和存在问题及电流变液ERF的机理和应用现状,提出 “基于ERF半主动阻尼的直线电机驱动-气浮/磁浮导轨”纳米级超精密工件台系统。介绍了国内外相关研究,分析了此工件台系统具有的特性及尚待解决的问题。 关键词:超精密工件台;电流变液ERF;半主动阻尼 中图分类号:TN305.7;TH112 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(2004)03-0011-021 引言 现代科学技术的飞速发展,对零件的制造精度和加工效率提出了越来越高的要求。作为工作母机的机床,特别是超精密加工机床(如光刻