压电超精密定位台的动态迟滞建模研究.pdf

压电超精密定位台的动态迟滞建模研究.pdf,为了提高压电超精密定位台的建模精度，采用BacklashLike迟滞非线性模型来描述压电超精密定位台的迟滞特性，采用基于遗传因子的递推最小二乘法来辨识BacklashLike模型的参数，并结合压电超精密定位台的动态特性，建立了压电超精密定位台的二阶动态迟滞模型。通过实验得到，对比BacklashLike模型,动态迟滞模型在频率为30和40Hz时，最大输出位移误差由1.21和1.39μm下降到0.32和0.44μm,且最大相对误差分别仅为3.5%和4.4%，平均位移误差由0.53和0.76μm下降到0.17和0.21μm，平均相对误差由