显示/光电技术中的光电所成功研制URE 2000/17型台式紫外深层光刻机

光电所成功研制URE-2000/17型台式紫外深层光刻机 近日,中国科学院光电技术研究所为适应市场需求,成功研发了一种URE-2000/17型台式紫外光刻机,并投入批量生产。 该产品采用200W直流高压汞灯(光能稳定性很高,汞灯寿命长)、双目双视场显微镜对准、球碗调平、单片机控制、触摸开关操作等,具有体积小、外形美观、性能可靠、操作方便、经济实用性强等特点,尤其适合高等院校和研究机构从事微电子技术、MEMS、声表器件、红外探测器、液晶等领域的科研、教学,以及生产企业用于小批量器件生产。具有较高的技术性能,同时价格较低。