电子测量中的半导体光电探测器的发展及应用

引言 半导体光电探测器由于体积小,重量轻,响应速度快,灵敏度高,易于与其它半导体器件集成,是光源的最理想探测器,可广泛用于光通信、信号处理、传感系统和测量系统。最近几年,由于超高速光通信、信号处理、测量和传感系统的需要,需要超高速高灵敏度的半导体光电探测器。为此,发展了谐振腔增强型(RCE)光电探测器、金属半导体-金属行波光电探测器,以及分离吸收梯度电荷和信增(SAGCM)雪崩光电探测器(APD)等。 谐振腔增强型(RCE)光电探测器 现代高性能的光通信、信号处理和测量系统,需要光电探测器必须具有高的响应速度和高的灵敏度。对于高带宽的光信号探测,需要光电探测器的最佳典型结构是