基于PDMS的MEMS柔性天线的设计及制作

设计了一种小型超宽带共面波导(CPW)馈电的MEMS单极子柔性天线,具有结构简单、质轻、易集成、可柔性弯曲的特点。该天线采用了具有高柔弹性和良好的自我恢复性的PDMS材料为介质基板,在柔性基板一侧设计了圆盘状的金属辐射结构,采用了CPW结构与天线集成于基板同一侧。实验中,验证了氧等离子刻蚀与SDS联合处理的方式能有效改善光刻胶与PDMS表面的粘附效果,并分别基于AZ6130胶、RZJ304胶、AZ5214E胶在PDMS柔性基底上利用金属剥离工艺制作了该CPW馈电的MEMS单极子柔性天线,对比了基于不同光刻胶制作的天线性能及剥离制作难度。该天线的频带为 3.3 GHz~5.0 GHz,阻抗匹配良