基于MEMS工艺的亚毫米波集成喇叭天线

在亚毫米波频段，相比较于微波毫米波频段，由于频率更高、波长更短，因而相应的器件尺寸更小。而天线作为尺寸和波长大小密切相关的器件，在亚毫米波频段的设计具有很大挑战。一方面，运用新材料、新工艺加工微小尺寸并能满足亚毫米波公差要求的天线；另一方面，根据亚毫米波系统的特点，研究平面集成天线，将天线和检波器、混频器等器件运用集成天路的工艺加工集成在一起，避免分立结构带来的连接问题。