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掠角沉积纳米结构薄膜技术研究

上传者: 2020-08-21 10:32:01上传 PDF文件 394.23KB 热度 18次
掠角沉积纳米结构薄膜技术研究,曹永智,吴超,薄膜技术有着悠久的历史。随着纳米技术的发展,具有特殊纳米结构的薄膜表现出多种独特的性质,使其在光学、能源以及新型传感器等
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