纳米硅氧薄膜的低温沉积及其光电特性 上传者：qq_22845 2020-07-17 13:41:57上传 PDF文件 523.57KB 热度 52次 纳米硅氧薄膜的低温沉积及其光电特性 ，刘海旭，赵静，本文目的在于研究低温下获得高质量纳米硅氧（nc-SiOx:H）薄膜材料的制备条件，采用甚高频等离子体化学气相沉积（VHF-PECVD）技术，以硅 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
