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面向半导体设备的Interface A通信方法研究.pdf

上传者: 2020-08-20 02:59:26上传 PDF文件 265.3KB 热度 26次
针对半导体设备工厂自动化的设备数据采集需求,给出了一种基于Interface A标准的 》通信方法,该方法构造了设备的通用模型,设计了设备通信的安全认证和授权机制,并给出了采集设备 2实时数据的方法,可满足工厂自动化系统对半导体设备的数据采集和设备控制需求。
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