论文研究 半导体设备预防性维护建模与优化方法研究.pdf

论文研究-半导体设备预防性维护建模与优化方法研究.pdf,  半导体生产线造价昂贵，制造工艺复杂.其维护具有维护费用高、维护难度大等特点.为了降低生产系统的整体维护成本，保证整个生产系统的稳定运行，本文通过伽马过程描述设备退化规律，对设备的衰退情况进行分类维护.针对随机退化的生产线提出考虑机会维护的预防性维护建模方法.以总维护费用最小化为目标，建立了维修费用模型，结合更新定理给出了模型求解的