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高K 金属栅极和它的MOSFET特性

上传者: 2020-08-13 17:57:45上传 PDF文件 141.51KB 热度 12次
我们从高K-金属栅极的表面现象拓展实验验证、TiN膜厚的等离子体处理以及CMOS器件等方面来茶树高K-金属栅极和它的MOSFET特性。
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