电子束蒸发TIO2薄膜的光学特性 上传者:squll_lj 2020-08-09 20:05:52上传 PDF文件 379.95KB 热度 56次 研究了不同工艺参数条件下, 电子束蒸发TIO2薄膜的光学特性.在正交实验的基础上,利用离子束辅助沉积技术, 获得了影响TIO2薄膜折射率的主要因素, 得到了TIO2薄膜的折射率随氧气分压的关系. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论