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电子束蒸发TIO2薄膜的光学特性

上传者: 2020-08-09 20:05:52上传 PDF文件 379.95KB 热度 24次
研究了不同工艺参数条件下, 电子束蒸发TIO2薄膜的光学特性.在正交实验的基础上,利用离子束辅助沉积技术, 获得了影响TIO2薄膜折射率的主要因素, 得到了TIO2薄膜的折射率随氧气分压的关系.
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