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半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化研究

上传者: 2020-08-09 04:25:13上传 PDF文件 432.32KB 热度 14次
半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化研究,李衍飞,江志斌,半导体晶圆制造系统(SWFS)是典型的大规模复杂重入型制造系统。随着现代SWFS自动化程度的提高,解决SWFS时变多目标生产调度的系统优
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